近日，中國計量科學研究院、山東省計量科學研究院、南京市計量監督檢測院、蘇州市計量測試研究院、上海市計量測試技術研究院共同召開，NQI課題《納米幾何特征參量計量標準器在生物醫藥產業應用示范》工作會議。

      該課題取得的研究成果：2項發明..、1項校準規程、2項地方標準、5項社會公益計量標準。本次會議探討了研究中的重點、難點問題。為課題的進一步研究劃出了目標。

      幾何量測量方法

      指測量時所采用的測量原理、計量器具相測量條件的綜合。在測量過程中，應根據被測零件的特點(如材料硬度、外形尺寸、批量大小、精度要求等)和被溯對象的定義來擬定測量方案、選擇計量器具和規定測量條件。

      納米計量儀器

      納米的計量并非傳統計量簡單拓展。微電子和超精細加工走入了納米空間。幾何測量納米逐漸走向實用性。由于納米的尺度接近原子極限，它的測量方法和儀器都有獨特性。

      一、掃描隧道顯微鏡；
      二、激光干涉儀測距；
      三、干涉儀(由穩頻塞曼激光光源、四光束偏振邁克爾干涉儀和數據分析電子系統組成)；
      四、X光干涉儀；
      五、電容式位移控制微懸臂原子力顯微鏡；
      六、描探針顯微鏡系列(掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡等組成)；
      七、原子力顯微鏡(光學偏轉法檢測)